Investigation of piezoelectric driven MEMS mirrors based on single and double S-shaped PZT actuator for 2-D scanning applications

      دانلود مقاله در فرمت پی دی اف

 مشاهده مقالاتی که بسیار مرتبط با این مقاله هستند

 جستجو و دانلود کتاب های مرتبط با این مقاله از سایت بوک یار

     ترجمه فارسی را دوزبانه مشاهده کنید

  این ترجمه کامپیوتری بوده و نیاز به ویرایش دارد

Abstract: A silicon micromirror driven by piezoelectric Pb(Zr,Ti)O3 cantilever actuator has been demonstrated for 2-D scanning applications. Two different PZT actuator designs have been fabricated and characterized to investigate the effects of the dimensions and number of S-shaped PZT cantilever actuator folds on the 2-D scanning performances of the micromirror. Three modes of operation have also been investigated for both devices. Device A, which is driven by single S-shaped PZT cantilever actuator, performs better in both dc and ac laser scanning compared to device B, which is driven by double S-shaped PZT actuator. At 10 Vdc, static ODA of 4.6° and 3.3° are obtained for devices A and B respectively. In the ac actuation regime, device A achieved ±9.0° at resonant frequency of 27 Hz, 1 Vpp while device B achieved ±7.2° at 20 Hz, 1 Vpp for bending mode. In torsional mode, dynamic ODA peaks of ±1.8° and ±1.2° are observed at 70 Hz and 156 Hz for devices A and B respectively. Lissajous scan patterns for both devices have been successfully demonstrated by superimposing two ac sinusoidal signals of different frequencies into one signal to be used to actuate the mirror.

Keywords: Microelectromechanical systems (MEMS), Optical MEMS, Piezoelectric actuator, PZT, Micromirror,

ترجمه چکیده : micromirror سیلیکون رانده شده توسط پیزوالکتریک سرب (از Zr، تیتانیم) O3 محرک های کنسول برای 2-D اسکن برنامه های کاربردی نشان داده شده است. دو طرح متفاوت محرک PZT جعل شده اند و مشخص به بررسی اثر ابعاد و تعداد S شکل محرک های کنسول PZT برابر در 2-D اسکن اجرای micromirror. سه حالت از عمل نیز برای هر دو دستگاه بررسی شده است. دستگاه A، است که توسط تک S شکل محرک های کنسول PZT رانده می شود، انجام و در هر دو دی سی و لیزر اسکن AC نسبت به دستگاه B، است که توسط دو S شکل محرک PZT هدایت می شود بهتر است. در 10 ولت، ODA شخص از 4.6 درجه و 3.3 درجه برای دستگاه های A و B به دست آمده بود. در رژیم تحریک AC، دستگاه در فرکانس رزونانس 27 هرتز، 1 VPP ± 9.0 درجه به دست آورد در حالی که دستگاه B 7.2 ± درجه در 20 هرتز، 1 VPP به دست آورد برای حالت خم. در حالت پیچشی، قله های پویا ODA از 1.8 ± درجه و 1.2 ± درجه در 70 هرتز و 156 هرتز برای دستگاه های A و B به ترتیب مشاهده می شود. الگوهای اسکن Lissajous برای هر دو دستگاه با موفقیت با قرار دو سیگنال سینوسی متناوب از فرکانس های مختلف را به یک سیگنال قرار دارند مورد استفاده قرار گیرد برای به کار انداختن آینه نشان داده است.. (این متن توسط ماشین ترجمه شده است لذا ممکن است نیاز به ویرایش داشته باشد)